产品特点

1）净化程度深，不仅能除去O2等较活泼的杂质，而且还可以除去N2等惰性杂质，这是一般净化机办不到的；
2）本纯化器为双塔结构，一组工作，另一组备用，顶两台净化机使用；
3）工作温度较低，能耗少。
4）本系列纯化器配置有预净化塔，在合金吸附塔之前已经除去了较活泼的杂质，故极大地延长了合金吸附塔的使用寿命

技术参数

设备名称 设备型号 工作方式 备 注 惰性气体纯化器 CZA-4N 半自动 Ar FX□-Z 半自动 □选Ar、He、Xe、Ke或Ne 原气要求 Ar、He 纯 度 ≥99.99%一般瓶装纯氩，液氩 杂质要求 O2≤200PPm, H2O≤1000PPm，N2≤100PPm 输出纯气 纯 度 ≥99.9999% 杂质含量 O2≤0.5PPm；N2≤0.5PPm；H2O≤1PPm(即露点≤－76℃)； CO+CO2≤0.1PPm；尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升 工作压力 0～1.0MPa 处理气量 1～4Nm3/h 备 注 可根据用户要求设计制造